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CassetteAdapterカセットアダプタ

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カセットアダプタの製造、販売

200㎜アダプタと300㎜Foupを載せ替えるだけで、ロードポートを旧サイズのウエハに対応できるようにカセットアダプタを製造。無駄のない設備投資のお手伝いをいたします。

特徴

200㎜&300㎜に対応します。
ベース上のコマ位置を変更するだけで多種多様なカセット搭載を実現させました。まずはご相談ください。

カセットアダプタ
操作

操作は簡単。オープンカセットを載せるだけ。

カセットアダプタ操作手順

オプション

200mmウエハカセット対応アダプタ概要

ウェハサイズ 200㎜
外観 高さ:336㎜
幅:382㎜
奥行:300㎜
重量:7Kg
オプション 200㎜専用マッピング・ウエハ飛び出し検出は、改造が必要となります。
ウエハマッピング検出
ロード、アンロードマッピングでウエハ有無&クロス検出
ウエハ飛び出し検出
ウエハの飛び出しによる装置の破損を防止
150㎜ウエハ対応
150㎜ウエハカセットも搭載可能
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