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TDKTDK製半導体製造装置

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フィールドサービス

TDK製ロードポートの装置の据付、引渡し後の修理、定期点検、移設作業、お問い合わせ対応などのアフターサービスを全面的にお引き受けいたします。
また、フィールドでのお客様のご要望を受けて、装置改善、治具設計と製作、検証までフィールドでの問題を受けて、設計部門が視覚的な図面、資料に展開、お待たせすることなく次のステップへご提案をいたします。

定期点検のご案内

定期的な点検を怠ると、予期せぬ重大なトラブルを引き起こしかねません。 日頃の装置の点検・整備と合わせた定期点検の実施をおすすめいたします。

対象

TDKロードポート TAS300 各タイプ

点検目安

TDK出荷後3年ごと

内容

1. 消耗部品と推奨部品の交換
単に消耗部品の交換作業だけではなく、日々のメンテナンスや確認方法についても的確なアドバイスをいたします。

2. 精度確認・調整
専用の治具を使用して、工場出荷と同等の調整が可能です。

3. 可動部の給油・動作確認・調整
可動部の不具合要素を早期発見し、的確な対応で安定した動作を継続させます。

4. 定期点検シートに記録
点検結果シートに点検記録を記載し、設備管理の履歴を残します。

※その他、ご要望に対応いたします。

主な点検箇所

リファービッシュ

リファービッシュイメージ

半導体搬送装置のリファービッシュ(各種検査、クリーニング、再設定、付属品補充など)を行います。
あらかじめ整備した同型のユニットを準備し、整備済みユニットと入れ替えることでメンテナンス時間の短縮を図ります。

引き取りオーバーホールメニュー(フルメニュー)

作業
  • ・受け入れ検査を実施し、現状の状態を把握します。
  • ・ほとんどの購入部品(基本部品55点+α)を交換します。
  • ・傷等がついたカバーを交換します。
  • ・精度検査表に基づき専用冶具にて精度検査、点検を実施します。
  • ・実績のあるエンドユーザー様の基準を満たした検査を実施します。
  • ・新規台と同じ出荷基準、出荷検査を行います。
保証

オーバーホール後2年(新規台と同じ。)

※標準メニューは交換部品は消耗部品と推奨交換部品のみ、保証期間はオーバーホール後1年になります。
詳しくはお問合せください。

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